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[常见问题解答]多晶硅作为栅极材料的优势与应用前景[ 2025-02-15 10:45 ]
在半导体制造领域,栅极材料的选择对于晶体管性能和集成电路的稳定性至关重要。随着技术的发展,传统的铝栅逐步被多晶硅栅取代,尤其是在高性能的MOSFET(氧化物半导体场效应晶体管)和其他集成电路中。多晶硅作为栅极材料的应用,已经成为现代半导体器件制造中的重要组成部分。一、多晶硅栅极的优势1. 优良的电气性能多晶硅作为栅极材料,具有显著的电气性能优势。相比传统的铝栅,多晶硅在高电压工作条件下能够提供更低的漏电流和更强的电流控制能力。这是因为多晶硅材料的电导率较低,能有效地抑制栅极漏电流,尤其是在微米级甚至纳米级工艺中,表
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